Карбид кремния существует в виде соединения. Он и кислород могут образовывать стабильные оксиды. Его основная функция – производство различных сплавов.
В процессе производства в качестве сырья в основном используются кварц и кремнезем, которые производятся электротермическим методом. Обычно используемый карбид кремния делится на два типа в зависимости от его цвета: черный карбид кремния и зеленый карбид кремния. Содержание кремния в черном карбиде кремния несколько ниже, чем в зеленом карбиде кремния; хотя ударная вязкость черного карбида кремния выше, чем у зеленого карбида кремния, его можно использовать для материалов с более низкой прочностью на сжатие, таких как керамика, огнеупорные материалы и т. д.; Зеленый карбид кремния обладает хорошими свойствами самозатачивания и может использоваться для обработки твердого сплава, титановых сплавов и некоторых мелкошлифованных инструментов из быстрорежущей стали.
Нитрид ферросилиция обладает хорошими высокотемпературными свойствами, коррозионной стойкостью, износостойкостью и свойствами спекания, высокой теплопроводностью, малым коэффициентом теплового расширения и другими преимуществами. Помимо того, что он широко используется в доменном шламе, он также используется в углеродсодержащих огнеупорах. Он имеет широкие перспективы применения в огнеупорных материалах, таких как жаропрочные конструкционные материалы и магнезиальные отливки. Поскольку методы осаждения различаются, получаемые пленки нитрида кремния также различаются, а также будут различия между растяжением и напряжением. Особенно при использовании технологии химического осаждения из паровой фазы с плазменным усилением можно регулировать параметры осаждения, чтобы уменьшить его натяжение.
