Генри Эдин Сент -Клер Девиль и Фридрих Вёлер впервые сообщили о синтезе нитрида кремния в 1857 году. В их сообщении о методе синтеза силикон, содержащий тиг, был похоронен в тигле, заполненном углеродом и нагревается, чтобы уменьшить инфильтрацию кислорода. Они сообщили о продукте, который они называли нитридом кремния, но не смогли выяснить его химический состав. В 1879 году Пол Шуэтценбергер смешанный кремний с подкладкой (паста, которую можно использовать в качестве тигльной подкладки, полученную путем смешивания древесного угля, угля или колы с глиной) и нагревать ее в блазненной печи, и сообщил о том, что он состав сочинена SI3N4. В 1910 году Людвиг Вайс и Теодор Энгельхардт нагретый кремний в чистом азоте для получения Si3n4. В 1925 году Фридерих и Ситтиг использовали карботермическое восстановление до теплового диоксида кремния и углерода для 1250-1300 степень в атмосфере азота, чтобы синтезировать нитрид кремния.
Нитрид кремния не воспринимался всерьез и изучался в течение десятилетий до тех пор, пока не появится коммерческое применение нитрида кремния. С 1948 по 1952 год, Diamond Company Acheson, недалеко от Ниагарского водопада, штат Нью -Йорк, зарегистрировала несколько патентов на производство и использование нитрида кремния. В 1958 году нитрид кремния, полученный с помощью Union Carbide, использовался для изготовления термопарных труб, ракетных форсунок и крестиков для таяния металлов. Исследования по нитриду кремния в Великобритании начались в 1953 году с целью создания высокотемпературных деталей для газовых турбин. Это привело к развитию связанного нитрида кремния и нитрида кремния горячих оттенков. В 1971 году Агентство Advanced Research Projects Advanced Research в рамках Министерства обороны США подписало контракт на 17 миллионов долларов с Ford и Westinghouse для разработки двух керамических газовых турбин.
Хотя свойства нитрида кремния давно известны, нитрид кремния (размер около 2 × 5 мкм), который естественным образом существует на Земле, не был обнаружен до 1990 -х годов в метеоритах. Этот тип нитридной руды кремния, обнаруженная в природе, называется «Ниретит» в честь Альфреда Отто Карла Нира, пионера в области исследований массовой спектрометрии. Тем не менее, есть доказательства того, что этот тип нитридной руды кремния, возможно, был обнаружен в метеоритах в Азербайджане, бывшем Советском Союзе ранее. Метеориты, содержащие минералы из нитрида кремния, также были обнаружены в провинции Гуйчжоу, Китай. В дополнение к существованию в метеоритах на Земле, нитрид кремния также распределяется в космической пыли в космическом пространстве.
